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環(huán)境控制系統(tǒng)及其在潔凈室中的應(yīng)用
每個潔凈室或?qū)S铆h(huán)境都利用某種控制系統(tǒng)來操作,用于維護環(huán)境的機械設(shè)備。不管是在半導(dǎo)體制造潔凈室,在生物制藥潔凈室還是在食品應(yīng)用潔凈室中,總共有3類基本控制機構(gòu)。
發(fā)布時間 :
2020-05-26